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信息与电子工程学院先进微纳电子器件智能系统及应用实验室获批省重点

来源:在职研究生招生网 时间:2016-10-09 09:32:27
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9月27日,由电子科学与技术学科牵头申报的“浙江省先进微纳电子器件智能系统及应用重点实验室”通过浙江省科技厅、发改委等单位审批,确定为2017年省级重点实验室(工程技术研究中心)。这是电子科学与技术学科在实验室建设方面取得的重要进展,也是信息与电子工程学院在浙江省获批的第二个创新载体。

重点实验室现有固定人员39人,其中千人特聘4人、青年拔尖2人、青年千人4人、IEEE Fellow4人、长江学者1人、外籍院士2人。实验室占地4000余平方米,包括在建1200平方米校级“微纳研究与制造中心”,其中一期6000万元约500平方米的超净间2013年已经投入使用,剩余部分开工在建中。实验室还配有Cadence、TCAD等电路、工艺仿真软件的EDA机房,器件电学性能测试平台等。校友捐建信电新楼将于2017年4月落成,整个面积将超过5000平方米。验室配备一整套先进的微纳加工及特性表征设备,包括双面光刻设备、ALD原子层沉积设备、磁控溅射设备、电子束蒸发设备、热蒸发设备、PECVD设备、ICP深反应刻蚀设备、RTA快速热退火设备等大型微纳加工设备,以及台式SEM、探针轮廓仪、半导体参数测试仪、蔡司显微镜、逻辑分析仪、矢量网络分析仪、TLP测试仪等先进的测试和分析仪器等,价值5500余万元。

重点实验室将主要开展微纳电子结构及效应仿真技术、微纳电子器件设计与制备、微纳器件的智能系统集成与应用三方面的研究工作,以实现“国家急需、世界一流”为导向,通过解决行业需求、并且推进民军融合建设、促进浙江地方经济、举办国际会议、常态化全国性相关科技人员培训等措施开展社会服务,在开放合作和仪器设备对外开放方面取得积极成效。同时,实验室希望培养一支多学科交叉、具有合作经验和创新精神的研究队伍,为国内外提供前沿微纳加工服务、新颖器件研发和系统集成终端产品设计。实验室的建设目标是成为开放型、具有世界一流水平的学术研究、人才培养和成果转化基地,成为产学研结合的典范。

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